自動整合器
自動整合器 102Y シリーズ
特長
高速オートマティックチューニング・広範囲インピーダンスに対応・高電力で長時間の運用・コンパクト軽量。
概要
この102Yシリーズは、13.56MHz帯における各種工業用の負荷と50Ω出力の高周波電源とを接ぐオートチューンカップラー(自動同調整合器)です。
適応負荷インピーダンスはすこぶる広く、抵抗分で約4〜60Ω、リアクタンス分で+j40〜-j200Ωを一気に自動同調します。これによって102Yシリーズは約20〜90立方cmのチャンバー体積と各種気体にも対応できます。
この102Y-xは高速で、かつ広範囲のインピーダンスの負荷にも対応出来るのでマニュアル操作は不用です。特に負荷のVSWRが3:1以上では、従来のカップラーでは自動同調が不能となりがちですが、102Y-xでは独自の同調エラー検出回路によって正しくない同調点を無視し、常に正しい同調点に向かって動作するように作られています。
更に一環したチューニングサイクルにより広範囲動作が保証されています。
同調時に必要なRF電力は定格電力の約10％、それ以上あれば同調時間が短縮されます。
もし負荷が未知の場合には、自動的にRE-TUNE(再同調)キーによってチューニングサイクルを開始します。この場合の同調時間は数秒です。
運用中に生じる小さな負荷変動でも、常にVSWRが約1.3:1以下となるように瞬時に整合を取り続けます。
102Y-4(2kW)より同調部に高信頼なバキューム・キャパシターが用いられています。
102Y-5(4.5kW)及び上位モデルでは同調インダクターは水冷化がなされ、過酷な運用にも高い耐久性を有しています。又、特殊な負荷及び周波数にも受注対応をしています。
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