ソリッドステートタイプの高周波電源、T857シリーズはコストパフォーマンスに優れた高信頼設計で、プラズマ・エッチング、RIE(反応性イオンエッチング)、プラズマCVD、RFスパッタリング、基板バイアス、その他各種プラズマ処理等に最適です。
又、自動整合器(オートチューンカップラ)102Yシリーズは、高耐電力で高速・小型・軽量、広範囲の負荷インピーダンスにも適応できるので、幅広い分野でご使用頂いております。
弊社では高周波電源装置や自動整合器等について、13.56MHz帯だけでなく、特殊な周波数や電力・波形、特殊な負荷等についても特注仕様で対応可能です。
Model |
出力電力 | ||
高周波電源装置 | T847C-1 手動整合器 |
100 W
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T847C 自動整合器 |
100 W
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T857-1 |
300W
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T857-2C | 500W | ||
T857-3 | 1kW | ||
T857-3A | 2kW | ||
T857-4 | 3kW | ||
T857-5 | 4kW | ||
T857-10 |
10kW
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