高周波電源

ソリッドステートタイプの高周波電源、T857シリーズはコストパフォーマンスに優れた高信頼設計で、プラズマ・エッチング、RIE(反応性イオンエッチング)、プラズマCVD、RFスパッタリング、基板バイアス、その他各種プラズマ処理等に最適です。
又、自動整合器(オートチューンカップラ)102Yシリーズは、高耐電力で高速・小型・軽量、広範囲の負荷インピーダンスにも適応できるので、幅広い分野でご使用頂いております。

弊社では高周波電源装置や自動整合器等について、13.56MHz帯だけでなく、特殊な周波数や電力・波形、特殊な負荷等についても特注仕様で対応可能です。

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